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简要描述:可编程精密不锈钢匀胶机,采用高精度工业伺服电机,配置8英寸人机界面,清晰的编程程序界面设置,易学易用。是半导体行业专用仪器设备。适合半导体行业及科研院所,实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,可编程不锈钢匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
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J9九游会·登录大厅介绍:
名 称:可编程不锈钢匀胶机
型 号:HC220PE
应 用:HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高精度工业伺服电机,配置8英寸人机界面,清晰的编程程序界面设置,易学易用。适合半导体行业及科研院所,实验室级的研究开发。适合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
J9九游会·登录大厅概述:
HC220PE可编程不锈钢匀胶机,采用高级PLC 模块,工业级伺服电机,全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
设备采用工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类J9九游会·登录大厅中达到50000RPM/S的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和可重复性。
性能参数:
l 旋涂程序:采用与track设备类似的程序与设计,最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒;
l 电机速度:0-10,000rpm;
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载);
l 马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm;
l 转速调节精度<1rpm;
l 重复性< 1rpm;
l 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step;
l 时间设置精度:0.1sec;
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8"圆晶);
l 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量);
l 用高级PLC模块,工业级伺服电机;
l 8英寸彩色触屏控制,人机界面;
l HDPE高分子内腔,耐腐蚀,易清洁,带排废功能;
l内腔壁采用凹面设计,有效防溅;
l可编程写和存储100组程序,每组100步;
l带真空度安全互锁检测功能;
l带盖子安全互锁检测功能;
l带排废接口;
l具有电机进胶保护功能;
l管路易疏通设计;
l具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能;
l正、反转旋涂方向可自由切换;
l旋涂参数可设置循环执行;
l速度-时间曲线实时显示;
配置四个自动点胶接口,可升级多路自动点胶系统;
l可设置用户密码保护功能;
l配置可调基座,方便调节水平;
不同尺寸的载物盘
J9九游会·登录大厅外型尺寸:
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)
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